微光显微镜EMMI_红外热发射显微镜_陕西天士立科技荣誉出品、锁相红外热像仪/电性失效分析029-⑧⑧②②⑸⑸⑼⑴。货期快，现货试测，欢迎来电。

陕西天士立科技的微光显微镜EMMI、热发射显微镜系统(Thermal Emission microscopy system)，是半导体失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一（EMMI,THERMAL,OBIRCH）,是通过接收故障点产生的热辐射异常来定位故障点(热点/Hot Spot)位置。

陕西天士立科技的微光显微镜EMMI、将锁相技术和热成像技术有机结合，获得超过1mk以上的温度分辨率，对uA级漏电流或微短路等导致的缺陷，提供了非常好的解决方案。

陕西天士立科技的微光显微镜EMMI、实时瞬态锁相红外热分析系统（RTTLIT)我公司的实时瞬态的锁相分析仪可选双波段，能同时具备EMMI（微光显微镜）和Thermal EMMI（热红外锁相显微镜）双功能，具备极高的灵敏度和性价比。专注于芯片、电子电路、电路板、电子元器件等各种产品的失效分析，可用于分析短路失效、漏电失效、CAF失效、离子迁移等等。

1、近红外相机

探测器：InGaAs（铟镓砷）

像素大小：640*512

像元间距：20um

制冷温度：10℃

曝光时间：16.7ms~33ms

2、金相显微镜

图像：正像

瞳距：调节范围 55-75mm

视场直径：24mm

调焦机构：粗微调手轮，调焦行程：50mm；粗动手轮 4mm/转；微动手轮

0.1mm/转

物镜转换器：四孔物镜转换器，中心可调，可拆卸

3、近红外物镜

NIR5X：，数值孔径 0.14，工作距离 37.5mm，景深 14um

NIR20X：数值孔径 0.40，工作距离 20mm，景深 1.7um

NIR50X：数值孔径 0.42，工作距离 17mm，景深 1.6um

4、探针（标配 4 组）

X-Y-Z 行程: 12mm x 12mm x 12mm

丝杠螺纹啮合&微分头驱动（自锁止功能，弹簧抑制跳动）

移动精度 0.35um

支持开尔文针臂安装、射频支臂安装

针尖直径：5um

针杆类型：同轴 BNC（最大耐受电压 500V）

5、气浮台

台面尺寸：1200 mm × 900 mm × 200 mm

台面高度：800mm

隔振方式：气浮隔振

6、源表

最大电压 200V

最大电流 1A接口类型：香蕉头

7、电脑

12 代 CPU：Intel i7-12700

内存：32G

硬盘：1T 机械+240G 固态

操作系统：WIN10

电源：300W

显卡：英伟达 T1000

显示器：27 寸 4K 显示器

配置鼠标、键盘

8、软件功能

四象限画面布局

锁相 EMMI 计算开始、中止功能

圈选功能（范围内最大值、最小值、平均值、标准差）

数据、图像保存、导入/导出功能

历史暂存功能

直方图均衡化

多阶滤波降噪算法（中值、平滑、高斯）

IV 测量工具

网格计算功能

Overlay 叠图功能

画面距离量测功能

正面测量/背面测量画面切换功能

3D 数据显示功能

9、安装要求

电源：230V±10%/50Hz，功率 2300W

真空：>50kPa

安装空间：空间不小于 2 米*2 米

配置桌子

微光显微镜(Emission Microscope, EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中，EHP(Electron Hole Pairs) Recombination会放出光子(Photon)。举例说明:在P-N 结加偏压，此时N阱的电子很容易扩散到P阱，而P的空穴也容易扩散至N然后与P端的空穴(或N端的电子)做 EHP Recombination。

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